角度超过87°的垂直坡度的光学横向探测

基于Focus-Variation的光学测量仪器使用户能够测量微型样品的复杂几何形状。到目前为止，当涉及到角度超过87°的微孔或垂直坡度时，这些测量是相当受限制的。以前，为了测量一个物体的两个相对的垂直壁，该物体必须相对于传感器是铰接的。

本文将首次介绍垂直聚焦探测的测量原理，包括其对尺寸计量学应用实例的影响。垂直聚焦测量是一种纯粹的光学测量技术。它可以直接测量垂直壁和微孔，在测量过程中不需要对样品进行铰接。这项技术可以对直径与深度之比为1:10、直径为0.1毫米至2毫米的微孔以及斜角超过90°的垂直壁进行三维测量。因此，从触觉世界了解到的横向探测，不再局限于触觉测量仪器。

作者：
Zangl, Kerstin; Danzl, Reinhard; Helmli, Franz.(2019).垂直聚焦探测和在尺寸测量中的应用。10.13140/RG.2.2.11917.59364.

了解更多关于垂直聚焦测量的信息

角度超过87°的垂直坡度的光学横向探测