Optisches seitliches Antasten von vertikalen Flanken mit Winkeln von mehr als 87°

Optische Messgeräte, die auf der Fokus-Variation basieren, ermöglichen dem Benutzer, komplexe Geometrien von Mikrobauteilen zu messen. Bisher waren diese Messungen bei Mikrobohrungen oder vertikalen Wänden mit einem Winkel von mehr als 87° recht eingeschränkt. Um zwei gegenüberliegende vertikale Wände eines Objekts zu messen, musste das Objekt bisher in Bezug auf den Sensor gelenkig sein.

In diesem Beitrag wird zum ersten Mal das Messprinzip des Vertical Focus Probing vorgestellt, einschließlich seiner Auswirkungen auf Anwendungsbeispiele in der Koordinatenmesstechnik. Vertical Focus Probing ist eine rein optische Messtechnik. Sie ermöglicht die Messung von vertikalen Wänden und Mikrobohrungen direkt, ohne die Probe während der Messung zu schwenken. Diese Technologie ermöglicht 3D-Messungen von Mikrobohrungen mit einem Verhältnis von Durchmesser zu Tiefe von 1:10 und Durchmessern von 0,1 mm bis 2 mm sowie von vertikalen Wänden mit einem Neigungswinkel von mehr als 90°. Damit ist die seitliche Abtastung, wie sie aus der taktilen Welt bekannt ist, nicht mehr auf taktile Messgeräte beschränkt.

Autoren:
Zangl, Kerstin; Danzl, Reinhard; Helmli, Franz. (2019). Titel: Vertical Focus Probing and the use in Dimensional Metrology. 10.13140/RG.2.2.11917.59364.