以最高精度测量大型部件的微小表面细节及尺寸
µCMM是第一台纯光学三坐标测量机,用于高精度测量极小的公差。 其结合了接触式三坐标测量技术和光学表面测量技术的优势:
- 只需一个传感器就能测量尺寸、位置、形状和粗糙度
- 整个测量范围内的高精度
- 非接触式,Focue-Variation光学测量
- 适用于哑光到高度抛光的部件
- 易于操作
- 无磨损,坚固耐用,适用于生产
技术规格
测量原 | 无接触,光学,三维,基于全自动变焦技术,包含垂直聚焦测量技术 | |
测量像素 | 单独测量: X: 1720, Y: 1720, X x Y: 2.95 百万 多个测量: 最多可达5亿 | |
定位量 (X x Y x Z) | 310 mm x 310 mm x 310 mm = 29 791 000 mm³ | |
轴移动速度 | 可达100毫米/秒 | |
同轴光 | LED同轴照明(真彩),高功率,电子控制 | |
系统监控 | 9个温度传感器(精度: ± 0.1 K),3个震动检测传感器,内部电流和电压监控,包括长期记录,可检索 | |
三维精度10360-8 | EUni:Tr:ODS,MPE = (0.8 + L/600) μm (L in mm), EUniZ:St:ODS,MPE = (0.15 + L/50) μm (L in mm) |
镜头放大倍数 | 3000 WD8 | 1900 WD 30 | 1500 WD23 | 1500 WD70 | 800 WD17 | 800 WD37 | 400 WD19 | 150 WD11 | ||
工作距离 | mm | 8.8 | 30 | 23.5 | 69,4 | 17.5 | 37 | 19 | 11 | |
横向测量范围 (X,Y) | mm | 5.26 | 3.29 | 2.63 | 2.63 | 1.32 | 1.32 | 0.66 | 0.26 | |
(X x Y) | mm² | 27.64 | 10.8 | 6.91 | 6.91 | 1.71 | 1.71 | 0.43 | 0.06 |