Sondage optique latéral des pentes verticales dont l'angle est supérieur à 87°.

Les instruments de mesure optique basés sur la variation de focalisation permettent aux utilisateurs de mesurer des géométries complexes de micro-échantillons. Jusqu'à présent, ces mesures étaient assez limitées lorsqu'il s'agissait de micro-trous ou de pentes verticales avec des angles supérieurs à 87°. Auparavant, pour mesurer deux parois verticales opposées d'un objet, l'objet devait être articulé par rapport au capteur.

Cet article présente pour la première fois le principe de mesure du palpage à focale verticale, ainsi que son impact sur les exemples d'application en métrologie dimensionnelle. Le palpage à focale verticale est une technologie de mesure purement optique. Elle permet de mesurer des parois verticales et des micro-trous directement sans articuler l'échantillon pendant la mesure. Cette technologie permet de mesurer en 3D des micro-trous dont le rapport diamètre/profondeur est de 1:10 et dont le diamètre est compris entre 0,1 et 2 mm, ainsi que des parois verticales dont l'angle d'inclinaison est supérieur à 90°. Ainsi, le palpage latéral, tel qu'il est connu dans le monde tactile, n'est plus limité aux instruments de mesure tactiles.

Auteurs :
Zangl, Kerstin ; Danzl, Reinhard ; Helmli, Franz. (2019). Titre original : Vertical Focus Probing and the use in Dimensional Metrology. 10.13140/RG.2.2.11917.59364.
(Le document est en anglais.)

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