对微结构表面进行高精度、可追踪和可重复的测量
InfiniteFocusSL是一种具有成本效益的光学三维测量系统,可方便、快速、可追踪地测量微结构表面的形状和粗糙度。用户只需用一个系统就能同时测量部件的形状和粗糙度。
技术规格
测量标准 | 非接触,光学,立体三维,基于Focus Variation 自动变焦技术 |
定位量 (X x Y x Z) | RL型号物镜,自动: 50 mm x 50 mm x 155 mm (Z: 25 mm 自动, 130 mm 手动) = 387 500 mm³ |
SXRL/AXRL 型号物镜,自动: 50 mm x 50 mm x 120 mm (Z: 25 mm 自动, 95 mm 手动) = 300 000 mm³ |
物镜放大倍数 | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | |||
工作距离 | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | ||
横向测量范围 (X,Y) (X x Y) | mm mm² | 2 4 | 1 1 | 0.4 0.16 | 10 100 | 4.87 23.72 | 3.61 13.03 | 2 4 | 1 1 | 0.4 0.16 | ||
垂直分辨率 | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 620 | 460 | 130 | 70 | 45 | ||
高度精度 (1 mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | ||
最大可测量范围 | mm² | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | ||
最小测量表面粗糙度 (Ra) | µm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | 未知 | 未知 | 未知 | 0.45 | 0.25 | 0.15 | ||
最小测量面粗糙度 (Sa) | µm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | 未知 | 未知 | 未知 | 0.25 | 0.1 | 0.08 | ||
最小测量半径 | µm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 10 | 5 | 3 | 2 |