用于车间自动化形状和粗糙度测量的光学测量系统
光学测量系统IF-SensorR25被集成到生产线上，在测量μm-nm范围内的表面特征时提供高分辨率、可重复和可追踪的结果。因此，IF-SensorR25是一个平台，可以在生产线和测量实验室中使用相同的测量过程。
技术规格
| 测量标准 | 非接触，光学，立体三维，基于Focus Variation 自动变焦技术 | |
| 定位量 (Z) | 25 mm (自动) | |
| 物镜放大倍数 | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX* | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | ||
| 工作距离 | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | |
| 横向测量范围 (X,Y) | mm | 2 | 1 | 0.4 | 10 | 4.87 | 3.6 | 2 | 1 | 0.4 | |
| (X x Y) | mm² | 4 | 1 | 0.16 | 100 | 23.72 | 13.03 | 4 | 1 | 0.16 | |
| 垂直分辨率 | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 620 | 460 | 130 | 70 | 45 | |
| 高度精度y (1 mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| 最小可测量表面轮廓粗糙度 (Ra) | µm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | n.a. | n.a. | n.a. | 0.45 | 0.25 | 0.15 | |
| 最小可测量表面粗糙度 (Sa) | µm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | n.a. | n.a. | n.a. | 0.25 | 0.1 | 0.08 | |
| 最小可测量半径 | µm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 10 | 5 | 3 | 2 |
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