MeX将任何SEM变成一个光学3D测量系统

轮廓测量可以实现试样的虚拟切割。用户在光学图像上定义一个路径，并收到相应的三维轮廓。粗糙度和轮廓测量符合公认的国际EN ISO标准，如4287/4288。轮廓分析也允许拟合基元，如圆、角或其他。

体积分析可以计算出空隙和突起的体积。测量区域直接在光学图像上定义。体积是通过对肥皂膜模型的计算来确定的。对于所选区域的三维边界，MeX计算出一个像肥皂膜一样的覆盖表面。

面积分析提供了对一个表面的Sa、Sq和Sz的测定。粗糙度、波浪度和用户定义的表面斑块的分形尺寸等参数可以实现。MeX自动计算ISO符合性分析。对于表面的视觉表现，可以使用灰度或伪彩色的深度图。也可以显示ISO-线来突出深度变化。