Capteur de mesure optique pour la mesure automatisée de la forme et de la rugosité dans production
Le capteur de mesure optique SensorR25 est intégré dans une ligne de production et fournit des résultats de haute résolution, répétables et traçables lors de la mesure des caractéristiques de surface dans la plage μm ou sub-μm. Par conséquent, le SensorR25 est une plateforme qui permet d'utiliser le même processus de mesure à la fois en ligne et dans un laboratoire de mesure.
Spécifications techniques
| Principe de mesure | sans contact, optique, 3D, selon le principe de la Variation Focale | |
| Courses en Z volume utile | 25 mm (mot.) | |
| Grossissement de l‘objectif | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | ||
| Distance de travail | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 33.5 | 20 | 13 | |
| Lateral plage de mesure (X,Y) | mm | 2 | 1 | 0.4 | 10 | 5 | 2 | 1 | 0.4 | |
| (X x Y) | mm² | 4 | 1 | 0.16 | 100 | 25 | 4 | 1 | 0.16 | |
| Résolution verticale | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 430 | 130 | 70 | 45 | |
| Justesse de mesure de marche (1 mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Rugosité min. mesurable (Ra) | µm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | n.d. | n.d. | 0.45 | 0.25 | 0.15 | |
| Rugosité min. mesurable (Sa) | µm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | n.d. | n.d. | 0.25 | 0.1 | 0.08 | |
| Rayon min. mesurable | µm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 5 | 3 | 2 |
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