Sensore di misura ottico per la misurazione automatizzata di forma e rugosità in produzione
Il sensore di misura ottico SensorR25 è integrato in una linea di produzione e fornisce risultati ad alta risoluzione, ripetibili e tracciabili quando si misurano caratteristiche superficiali nell'intervallo μm o sub-μm. Pertanto, le SensorR25 è un sistema che consente l'utilizzo dello stesso protocollo di misura sia in linea sia in laboratorio.
Specifiche tecniche
| Principio di misura | non a contatto, ottico, tridimensionale, basato sulla Focus-Variation | |
| Volume di posizionamento (Z) | 25 mm (mot.) | |
| Ingrandimento obiettivo | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | ||
| Distanza lavoro | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 33.5 | 20 | 13 | |
| Campo di misura laterale (X,Y) | mm | 2 | 1 | 0.4 | 10 | 5 | 2 | 1 | 0.4 | |
| (X x Y) | mm² | 4 | 1 | 0.16 | 100 | 25 | 4 | 1 | 0.16 | |
| Risoluzione verticale | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 430 | 130 | 70 | 45 | |
| Accuratezza di misura di altezza (1 mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Min. rugosità misurabile (Ra) | µm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | n.a. | n.a. | 0.45 | 0.25 | 0.15 | |
| Min. rugosità misurabile (Sa) | µm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | n.a. | n.a. | 0.25 | 0.1 | 0.08 | |
| Min. raggio misurabile | µm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 5 | 3 | 2 |
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