Optischer Messsensor für die automatisierte Form- & Rauheitsmessung in der Fertigung
Der IF-SensorR25 ist ein stabiler optischer 3D Messsensor zur automatischen Messung von Form und Rauheit in der Produktion. Der Messsensor wird in eine Fertigungsstraße integriert und liefert hochauflösende, wiederholgenaue und rückführbare Ergebnisse. Anwender messen Bauteiltoleranzen im μm oder sub-μm Bereich und können in der Produktion denselben Messprozess anwenden wie im Labor.
Technische Spezifikationen
| Messprinzip | berührungslos, optisch, dreidimensional, basierend auf Fokus-Variation |
| Positioniervolumen (Z) | 25 mm (mot.) |
| Objektivvergrößerung | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX* | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | ||
| Arbeitsabstand | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | |
| Lateraler Messbereich (X,Y) | mm | 2 | 1 | 0.4 | 10 | 4.87 | 3.6 | 2 | 1 | 0.4 | |
| (X x Y) | mm² | 4 | 1 | 0.16 | 100 | 23.72 | 13.03 | 4 | 1 | 0.16 | |
| Vertikale Auflösung | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 620 | 460 | 130 | 70 | 45 | |
| Messgenauigkeit Stufenhöhe (1 mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Min. messbare Rauheit (Ra) | µm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | --- | --- | --- | 0.45 | 0.25 | 0.15 | |
| Min. messbare Rauheit (Sa) | µm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | --- | --- | --- | 0.25 | 0.1 | 0.08 | |
| Min. messbarer Radius | µm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 10 | 5 | 3 | 2 | |
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