MeX transforme n'importe quel MEB en un système de mesure 3D optique
MeX est un logiciel autonome qui transforme n'importe quel MEB à imagerie numérique en un véritable appareil de métrologie des surfaces. En utilisant des images stéréoscopiques, le logiciel récupère automatiquement les informations 3D et présente un ensemble de données 3D très précis, robuste et dense, qui est ensuite utilisé pour effectuer des examens métrologiques traçables.
Ce qui est possible avec MeX
Mesure de la hauteur et de la rugosité
La mesure du profil permet de découper virtuellement l'échantillon. L'utilisateur définit une trajectoire sur l'image optique et reçoit le profil 3D correspondant. Les mesures de rugosité et de contour sont conformes aux normes internationales EN ISO reconnues telles que 4287/4288. L'analyse du profil permet également d'ajuster des primitives telles que des cercles, des angles ou autres.
Analyse des volumes
L'analyse de volume calcule le volume des vides et des saillies. La zone de mesure est définie directement sur l'image optique. Le volume est déterminé par le calcul d'un modèle de film de savon. Pour la frontière 3D de la zone sélectionnée, MeX calcule une surface de recouvrement qui se comporte comme un film de savon.
Mesures de surface
L'analyse de surface permet de déterminer Sa, Sq et Sz sur une surface. Des paramètres tels que la rugosité, l'ondulation et la dimension fractale des surfaces définies par l'utilisateur sont obtenus. MeX calcule automatiquement l'analyse conforme à la norme ISO. Pour la représentation visuelle de la surface, il est possible d'utiliser une échelle de gris ou une carte de profondeur pseudo-colorée. Il est également possible d'afficher des lignes ISO pour mettre en évidence les variations de profondeur.